功能：2~4寸藍(lán)寶石襯底片和視窗片退火前刷洗

本設(shè)備為人工將藍(lán)寶石晶圓片放入刷洗腔內(nèi)，蓋上蓋子，按啟動(dòng)按鈕，按設(shè)定好的刷洗時(shí)間進(jìn)行活性劑噴淋刷洗，純水噴淋刷洗，清洗結(jié)束報(bào)警，打開蓋子取出晶圓片。